Υλικά χάραξης για ηλεκτρονικά κυκλώματα υπερφθοροβουταδένιο

Εισαγωγή προϊόντος

Το υπερφθοροβουταδιένιο (C4F6) είναι ένα είδος άχρωμο, άοσμο και νερό αδιάλυτο αέριο. Το σημείο τήξης του είναι 132,0 ℃, το σημείο βρασμού είναι 5,9 ℃. Το υπερφθοροβουταδιένιο είναι ένα είδος συζευγμένων ολεφινών που περιέχει έξι άτομα φθορίου και δύο διπλούς δεσμούς άνθρακα-άνθρακα, ως ένα είδος εξαιρετικού αέριο χάραξης, λόγω της μοναδικής αναλογίας F/C, η υπερφθοροβουταδιή έχει υψηλότερη επιλεκτικότητα χάραξης, ακρίβεια και πτυχή από εκείνους του Το παραδοσιακό υπερφθοριωμένο αέριο κορεσμένου φθοροβάθρου, η υπερφθοροβουταδιή μπορεί να χαράξει λιγότερο από 100 nm ακόμη και στενότερο ηλεκτρονικό κύκλωμα. Επιπλέον, το C4F6 έχει υψηλότερη επιλεκτική αναλογία φωτοανθεκτικού και νιτριδίου πυριτίου από αυτόν του C4F8, το οποίο μπορεί να βελτιώσει τη σταθερότητα της χάραξης, τον ρυθμό χάραξης και την ομοιομορφία και έτσι να βελτιώσει την ποιότητα του προϊόντος.

Προδιαγραφή ποιότητας

Εφαρμογή

Χρησιμοποιείται ως αέριο χάραξης για τη χάραξη πλάσματος των προϊόντων ημιαγωγών.

Συσκευασία και αποθήκευση

Το υπερφθοροβουταδιένιο γεμίζει σε κυλίνδρους χάλυβα με το μοντέλο B10, μέγεθος 14cm χ 83cm, εσωτερικός όγκος 10,1L, μικτό βάρος 14,7kg, ωφέλιμο φορτίο 10kg. Οι προδιαγραφές συσκευασίας μπορούν να προσαρμοστούν σύμφωνα με τις απαιτήσεις των πελατών.