Semitron® MPR 1000 PAI

Τα σχήματα Semitron® MPR 1000 διαθέτουν εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα και χαμηλά ποσοστά εξάπλωσης και διάβρωσης σε θαλάμους πλάσματος. Αυτό το υλικό υψηλής καθαρότητας με χαμηλό ιοντικό περιεχόμενο επιλέγεται συχνά για εφαρμογές θαλάμου κενού εντός των τμημάτων Etch, CVD και Ion εμφυτεύματος στη βιομηχανία ημιαγωγών και ηλεκτρονικών.

Το Semitron® MPR 1000 δείχνει αυξημένη διάρκεια ζωής σε σχέση με τα παραδοσιακά υλικά, για παράδειγμα μέχρι 25x πάνω από πολυϊμίδιο στο όζον σε ορισμένες περιπτώσεις. Λόγω της μακροζωίας του, καθορίζεται έναντι παραδοσιακών υλικών που χρησιμοποιούνται σε εφαρμογές θαλάμου κενού όπως χαλαζία, κεραμικά, πολυιμίδια και άλλα πλαστικά μηχανικής.

Ιδιότητες υλικού

Χαμηλό ιοντικό περιεχόμενο και χαμηλή outgassing

Εξαιρετική αντίσταση θερμότητας

Ελαχιστοποιημένος ρυθμός διάβρωσης σε θαλάμους πλάσματος

Βέλτιστη αντίσταση, ανθεκτικότητα και μηχανική ικανότητα

Σχεδιασμένο ειδικά για απαιτητικές εφαρμογές θαλάμου

Εφαρμογές: Επιμελητήρια κενού με βάση το πλάσμα, δαχτυλίδια σφιγκτήρα, δαχτυλίδια τάφρου, βίδες, καρφίτσες, κεφαλές ντους, δαχτυλίδια εστίασης, μονωτήρες, μαξιλάρια κενού

Σχετικά με το Semitron ®

Τα προϊόντα βαθμού Semitron® Semiconductor αναπτύχθηκαν για να βοηθήσουν τους σχεδιαστές και τους χρήστες να βελτιστοποιήσουν την απόδοση του εξοπλισμού κατασκευής συσκευών. Εκτός από την κατασκευή συσκευών, πολλά από αυτά τα υλικά είναι ιδανικά για συγκεκριμένα περιβάλλοντα όπου απαιτούνται αντοχή στη φθορά, χημική αντοχή και διαχείριση στατικής ηλεκτρικής ενέργειας.

Έχουν αναπτυχθεί δύο ομάδες προϊόντων. Ένα, κατάλληλο για εφαρμογές χειρισμού και δοκιμών συσκευών και ένα δευτερόλεπτο για εφαρμογές CMP, πλάσματος και χάραξης επόμενης γενιάς.

Οι βαθμοί ημιτρών είναι διαθέσιμοι σε φύλλο, ράβδο (ορισμένες συνθέσεις) και κατεργασμένα μέρη.